SiTimeの MEMS First™ プロセス技術

MEMS FirstTMは SiTime が開発した、シリコン振動子を製造する独自プロセスです。SiTimeのMEMS FirstTM プロセスで製造したシリコン振動子は、非常に小型であるため、シリコンチップ中に完全に封止することが出来ます。そのため、非常に安定であり、高い耐久性を実現しています。MEMS FirstTMは、通常のCMOSプロセス同様の大口径ウェハーを使用するため、量産性が良好で、高品質、高信頼性という特徴を持っています。さらに、標準CMOSプロセス用大規模工場で量産するので、大量生産が可能で、需要の急増にも対応出来ます。以下の章で、このMEMS FirstTMの特徴を詳しくお伝えします。

 

 
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