革新的なTempFlat™ MEMS 振動子

kHz-resonator

MHz-resonator

SiTimeのシリコンMEMS振動子は、弊社シリコンベースMEMS発振器やタイミングデバイス製品にとって最も重要な部品です。SiTimeの非常に安定で、振動や衝撃に強いMEMS振動子は革新的なTempFlat™ MEMSテクノロジーに基づき、シリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウェハーを使用して製造されます。また、半導体製造工場において標準的なCMOSプロセス装置を用いて製造されます。MEMS振動子は真空封止され、コスト効率の高いプラスチックパッケージにパッケージングされます。 SiTimeMEMS振動子の製造方法について是非ご確認ください。

SiTimeはkHzとMHz両周波数帯の発振器を製造しています。kHz帯の振動子はSub-μAの消費電力で、一般的にリアルタイムクロック(タイムキーピング)や電力管理(例えばスリープ・ウェイクアップ機能)に使用されます。また、MHz帯の振動子はデータ転送速度を重視するシリアル通信やパラレル通信における基準クロックとして使用されます。どちらの種類の振動子も非常にQ値が高く、優れた周波数安定精度や周波数分解能が必要なVCXOやTCXOで使用することができます。MEMS振動子の性能についてはこちらをご覧ください。

 

TempFlat MEMS テクノロジー

tempflat-jpごく最近まで、全てのMEMS発振器は全温度保証範囲で安定な周波数を発振するために複雑な補正回路を使っていました。SiTime独自のTempFlat MEMSテクノロジーにより、温度補正をあまり必要としない振動子を開発することができました。この技術によって、これまで必要であった温度センサーや補正回路を使用することなく、±50ppm, ±100ppmの周波数安定性を持つ発振器を製造可能になりました。±5ppmのTCXOも、これまでよりシンプルな補正回路で実現可能です。この補正回路はTempFlat MEMSテクノロジーにより回路もシンプルとなり、小型化、低消費電力化、コストダウンに成功しました。

SiTimeの32kHz発振器ファミリーはTempFlat MEMSテクノロジーを使った第1世代目の製品です。TempFlat MEMSテクノロジーによって生まれた32kHz発振器は、同じ32kHzの水晶振動子に対して2倍の安定性を持ち、低消費電力、小サイズで非常に高付加価値のある製品になっています。

 

タイミングデバイスのインテグレート

SiTimeのMEMS振動子は、半導体パッケージ内へ完全に組み込み可能な、唯一のソリューションです。SiTimeのMEMS振動子はMEMS Firstプロセス技術で製造されているため、コスト効率が良く、プラスチックパッケージ内部に別のSoCダイと一緒に組み込むことができます。このユニークなソリューションによって、パフォーマンス向上やシステム設計の簡素化、技術サポートの削減、システム信頼性の向上といった利点が生まれます。SiTimeのMEMS振動子を使用するSoCのベンダーは、一切外付け部品なしで、非常に正確な組み込み型クロッキング•ソリューションを手に入れることができます。振動子のインテグレートについてはこちらをご覧ください。 

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ごく最近まで、全てのMEMS発振器は全温度保証範囲で安定な周波数を発振するために複雑な補正回路を使っていました。SiTime独自のTempFlat MEMSテクノロジーにより、温度補正をあまり必要としない振動子を開発することができました。この技術によって、これまで必要であった温度センサーや補正回路を使用することなく、±50ppm, ±100ppmの周波数安定性を持つ発振器を製造可能になりました。±5ppmTCXOも、これまでよりシンプルな補正回路で実現可能です。この補正回路はTempFlat MEMSテクノロジーにより回路もシンプルとなり、小型化、低消費電力化、コストダウンに成功しました。 

SiTime32kHz発振器ファミリーはTempFlat MEMSテクノロジーを使った第1世代目の製品です。TempFlat MEMSテクノロジーによって生まれた32kHz発振器は、同じ32kHzの水晶振動子に対して2倍倍の安定性を持ち、低消費電力、小サイズで非常に高付加価値のある製品になっています。 

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ごく最近まで、全てのMEMSMEMS発振器は全温度保証範囲で安定な周波数を発振するために複雑な補正回路を使っていました。SiTime独自のTempFlat MEMSテクノロジーにより、温度補正をあまり必要としない振動子を開発することができました。この技術によって、これまで必要であった温度センサーや補正回路を使用することなく、±50ppm, ±100ppmの周波数安定性を持つ発振器を製造可能になりました。±5ppmTCXOも、これまでよりシンプルな補正回路で実現可能です。この補正回路はTempFlat MEMSテクノロジーにより回路もシンプルとなり、小型化、低消費電力化、コストダウンに成功しました。 

SiTime32kHz発振器ファミリーはTempFlat MEMSテクノロジーを使った第1世代目の製品です。TempFlat MEMSテクノロジーによって生まれた32kHz発振器は、同じ32kHzの水晶振動子に対して2倍の安定性を持ち、低消費電力、小サイズで非常に高付加価値のある製品になっています。 

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